英特尔29P16B1BLDNF2 3D XPoint结构分析

产品代码
SAR-1706-801.
发布日期
06/10/2017
可用性
发表
产品项目代码
int-29p16b1bldnf2
设备制造商
英特尔
设备类型
记忆
报告代码
SAR-1706-801.
本报告提出了从英特尔29P16B1BLDNF2设备提取的XPoint存储器芯片的结构分析。3D XPoint存储器是一类类型的非易失性存储器(NVM)。XPoint存储器单元处于串联阵列,堆叠在具有CMOS电路的基板上,在阵列(CUA)配置下的CMOS中。每个3D xpoint存储器单元使用与基于OTS的选择器设备串联的PCM的存储单元。

此报告包含以下详细信息:
  • 选择下游和拆除照片
  • 包照片,包X射线,模具标记和模具功能
  • 模具利用率分析,包括带注释的栅极电平模具照片和功能块测量
  • 选定的布局特征分析,包括金属,通孔和栅极结构,以及存储器单元布局
  • 扫描电子显微镜(SEM)和透射电子显微镜(TEM)分析电介质,金属,通孔和触点,晶体管,隔离和主要结构特征
  • 晶体管栅极,栅极电介质和S / D材料的高角度环形暗场(HAADF)扫描透射电子显微镜(Stew)分析
  • 模具功能的临界尺寸
  • 基于TEM的能量分散光谱(TEM-EDS)和电子能损光谱(EEL)的电介质,金属和晶体管分析
  • 扫描电容显微镜(SCM)和次级离子质谱(SIMS)分析孔和基材

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